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簡要描述：科氏力氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2026-06-29訪 問 量：3383詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 其他 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,綜合 |
科氏力氣體質(zhì)量流量控制器概述：
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高
◆數(shù)字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
基本原理為：一根兩端固定的薄壁測量管，在中點處以測量管諧振或接近諧振的頻率（或其高次諧波頻率）所激勵，此時，在管內(nèi)流動的流體產(chǎn)生科里奧利力，使測量管中點前后產(chǎn)生方向相反的撓曲，撓曲的大小與流體的質(zhì)量流量成正比。因此，用光學(xué)或電磁學(xué)的方法檢測測量管的撓曲量，就可以求得管內(nèi)流體的質(zhì)量流量。
應(yīng)用行業(yè)：
| 玻璃行業(yè) | 太陽能 | 大氣監(jiān)測 | 工業(yè)制作 | 石油石化 |
| 煤炭冶金 | 制氣配氣 | 環(huán)保 | 各種儀器分析 | |
科氏力氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)：
| 量程范圍 | 100SCCM～30SLM |
| 測控范圍 | 量程比50:1 |
| 準確度 | ±1.0%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時間 | <2s |
| 數(shù)字量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.05~0.5Mpa |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB15孔 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
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